虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行

？对虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行进行了研究.此微加速度传感器采用悬臂梁式结构.论文分析了其静态特性和动态特性,建立了悬臂梁变形模型和微加速度传感器动态行为模型;讨论了在修改结构尺寸过程中,梁长、梁厚对微加速度传感器的影响,并优化了结构参数;最后建立虚拟环境,进行拟实运行,验证设计结果.