一种新结构的双向直线运动驻波型超声波电机

研究了一种新结构的双向运动直线超声波电机。该种直线超声波电机由一块在两端部开槽、形成2个薄弱环节的板构成。通过有限元分析可知，调整薄弱环节和两端部的尺寸，在板中间可以形成2个波长几乎相等的驻波模态，其中一个是正弦振型，一个是余弦振型；通过粘贴8片PZT4压电陶瓷在板的中部来激励这2种振动模态。依照该原理，设计制造并研究了长60mm、宽10mm的新型双向直线运动超声波电机。该直线超声波电机在一个方向上最大速度220mm/s，最大出力1.764N，在另一个方向上最大速度270mm/s，最大出力1.96N，且达到了0.2mm以下的分辨率。