测量高频振动的相位细分调制法原理

校准用压电式高频振动台的频率一般从2到50千赫,振幅不超过0.2微米。为了提高测振幅的精度,我们以相位细分法(又称内插示波管法)为基础,在激光干涉系统的参考镜上施加三角波形振动,对被测振动进行相位调制,用多周期平均法进行测定,取得了满意结果。