多弧离子镀硬质膜的抗空蚀性能研究

利用磁致伸缩振动空蚀试验装置，研究了灰口铸铁表面多弧离子镀TiN、CrN及（Ti,Cr)N硬质膜的抗空蚀性能。研究结果表明，离子镀硬质膜的抗空蚀性能与铸铁基体的表面粗糙度、离子镀层的表面特征、镀膜过程中工件负偏压及镀层厚度密切相关。采用屏蔽离子镀可以有效地减少膜层表面的微颗粒及微缺陷，从而改善材料的抗空蚀性能。当基片负偏压为300V而膜厚为3μm时，硬质膜的抗空蚀性能最佳。