C^＋注入对金属／SiO2体系摩擦学行为的影响

考察了C注入对Ti、Al和Ag等3种金属/氧化物体系的硬度、膜基结合强度和摩擦学性能的影响.结果表明,C注入可以显著提高Ti、Al和Ag金属/氧化物的硬度和膜基结合强度,从而改善摩擦学性能.C注入使得Ti膜体相和界面处产生Ti-C固溶体,这是Ti膜耐磨寿命得以提高的主要原因