TIN / Ti 复合膜与多层膜对Ti811 合金高温摩擦性能及微动疲劳抗力的影响

在Ti811钛合金表面分别利用真空阴极电弧沉积技术和磁控溅射技术制备了TIN/Ti复合膜,利用磁控溅射技术制备了TIN/Ti多层膜,测试了膜层的剖面成分分布?膜基结合强度?膜层显微硬度和韧性,对比研究了不同结构膜层对钛合金基材摩擦学性能和高温微动疲劳抗力的影响结果表明:TIN/Ti复合膜和多层膜均有效提高了钛合金表面的硬度和耐磨性能;电弧沉积TIN/Ti膜层对钛合金高温微动疲劳抗力的改善程度高于磁控溅射TIN/Ti膜层,原因归于电弧沉积TIN/Ti膜层强韧性好?结合强度高,且膜层中的钦颗粒有良好的减摩润滑作用;磁控溅射TIN/Ti多层膜对钛合金高温微动疲劳抗力的改善程度高于磁控溅射TIN/Ti复合膜层,原因是前者韧性高?减摩润滑作用显著