基体预氧化对溅射TiC膜结合力及耐磨性的影响

本文讨论了钢基体预氧化对溅射TiC膜在其上的结合力和耐磨性的影响。结果表明,在预氧化的基体与TiC膜之间存在一个中间层――新相FeTiO_3,它改变了TiC与钢基体之间的界面状态,从而提高了结合力,致使其磨损体积仅为在未经氧化处理表面上的30％左右。