表面微加工MEMS三维模型的局部变动

现有的微机电系统(MEMS)设计中缺乏面向优化的MEMS器件变动方法。针对表面微加工MEMS，在可制造性分析的基础上提出了表面微加工MEMS三维模型的局部变动方法。该方法首先在表面微加工MEMS三维模型上选定设计关注面，设计人员对所选定的设计关注面进行变动操作；变动设计后根据变动类型基于可制造性分析自动映射和传播变动到表面微加工MEMS三维模型；在三维模型更新后，通过传播定位了该变动操作所要修改的掩模，更新该掩模文件，实现工艺模型和几何模型的一致性。实例测试结果表明：该方法能够有效地实现三维模型的局部变动，从而提高了MEMS设计人员的效率。