扫描光刻系统的分段迭代学习控制策略

结合扫描光刻系统的曝光特点,提出一种分段迭代学习控制方法．该方法继承了非因果迭代学习律充分学习的特点．为改善动态跟踪性能,在加速过程段对前一迭代周期的误差信息进行非因果学习,以保证其沿迭代轴的快速收敛性．为克服非因果迭代学习律盲目学习的缺点,在匀速曝光段不对误差信息进行非因果学习,以保证系统的曝光性能不发生恶化,并改善系统在时间轴的瞬态性能．此外,对该方法的收敛性进行了分析和证明,并结合实例,验证了方法的有效性．