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ISSN: 2333-9721
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新型反相位驱动双解耦微机械陀螺设计

DOI: 10.11918/j.issn.0367-6234.2014.09.018, PP. 105-110

Keywords: 角速度传感器,双解耦结构,微机械陀螺,反相驱动

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Abstract:

为抑制在微机械陀螺中广泛存在的共模干扰问题,提出一种新型振动微机械陀螺结构设计.陀螺结构采用对称设计,将二自由度振荡系统同时引入到驱动模态和敏感模态中.通过在两个驱动质量块上施加反相位驱动力使驱动模态下质量块始终反向振动.通过左右两个完全相同的框架结构设计,最大限度消除外界振动导致的共模干扰.为消除多自由度驱动模态和敏感模态的耦合,将驱动方向的弹性悬梁引入敏感模态,使微机械陀螺具备双解耦结构.设计出的微机械陀螺,敏感模态增益较驱动模态提高约30dB.驱动模态和敏感模态的带宽分别为250Hz和310Hz.在操作频率区域内可以提供稳定的增益和相位.并且达到有效消除共模干扰的目的.

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