金刚石表面沉积二氧化钛薄膜研究

用均一沉淀法在金刚石表面沉积二氧化钛,探讨了沉积工艺条件。覆层在高温和真空条件下被还原为单质金属钛,X射线衍射分析表明金刚石表面有钛和碳化钛生成。