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ISSN: 2333-9721
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大腔体人造金刚石合成工艺的研究

Keywords: 瓶颈效应,合成工艺,人造金刚石,腔体,合成压力,合成功率

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Abstract:

分析了我国现阶段金刚石的合成工艺-φ23mm腔体工艺的基础上,利用变功率合成技术和瓶颈效应后改变组装方式,使腔体内的物量比合理化,以达到腔体内合成温度和压力均匀,控制金刚石的生长速度,在较低的合成压力和合成功率下,在φ28.5mm腔体和φ31mm腔体上,合成优质高产金刚石。

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