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ISSN: 2333-9721
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新的离子型光敏聚酰亚胺

, PP. 117-121

Keywords: 离子型光敏聚酰亚胺复合季铵盐光敏聚酰胺酸盐感光度热稳定性集成电路光刻胶

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Abstract:

合成了新的复合光敏聚酰胺酸季铵盐,研究了光敏剂、交联剂以及化学结构对感光度的影响,并考察了其热稳定性。结果表明以3,3′,4,4′-联苯四酸二酐-间苯二胺为主链的聚酰胺酸合成的光敏聚酰胺酸季铵盐有较高的感光度,光敏剂米氏酮的含量在3-5%,交联剂2,6-双(4-叠氨苄基)-4-甲基环己酮的含量在8-10%为宜;光敏性叔胺二甲氨基乙醇肉桂叉乙酸酯的含量不可超过8%;由这种复合季铵盐合成的新的光敏聚酰胺酸盐在较低的温度200℃以下就可以完全酰亚胺化,但接近550℃才达到理论失重量。

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