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ISSN: 2333-9721
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Si/GaP(111)界面生长及其形成过程

Keywords: 异质界面,电子束蒸发,界面形成,光电子能谱

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Abstract:

研究用电子束蒸发方法把Si淀积在GaP表面的界面生长过程。用XPS在线测量Si/GaP(111)界面形成过程中各原子芯能级的移动趋势来研究界面原子间的成键情况;借助Ga3p峰强随Si覆盖厚度的变化确定Si的生长模式。还用LEED监测Si生长时的表面结构状态。

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