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Keywords: 气体传感器,半导体表面,电阻
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本文讨论了气体与半导体表面的相互作用,指出了SnO2传感器电阻对还原性气体的响应主要由于半导体表面的氧离子吸附、化学反应及势垒效应等三种过程引起的,导出了传感器电阻响应的一般关系式,与实验结果相符。
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