钌铱钛锡钴五元氧化物纳米晶涂层的制备

采用热分解法在５００℃氧化烧结获得五元金属氧化物涂层的制备方法，可获得７ｎｍ晶粒的纳米涂层。采用扫描电子显微镜，透射电子显微饶和Ｘ射线衍射技术分析该涂层的表面形貌、内部晶粒形貌和晶体结构特点。