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ISSN: 2333-9721
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热循环离子渗氮的快渗机制

Keywords: 热循环,离子渗氮,扩散,

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Abstract:

根据热循环离子渗氮(INTC)过程渗层生长动力学特性和表面相组分的变化规律,分析了辉光放电等离子体对热循环渗氮的增强作用,提出了循环变温过程相的脱溶和离子轰击形成的表面γ'相导致内扩散速度加快的机制,指出INTC的深层快渗效果系集离子渗氮与热循环渗氮二者之长所致.

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