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福州大学学报(自然科学版) 2014
全SU8微悬臂梁的制备及其弹性系数表征Abstract: 采用Omnicoat作为牺牲层，经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁，释放的成功率超过95%. 针对SU8热膨胀系数大的缺点，对SU8微悬臂梁进行不同温度退火. 采用原子力显微镜(AFM)系统对SU8微悬臂梁的弹性系数进行精确表征. 结果表明，随着退火温度提高，SU8微悬臂梁弹性系数增大，对于250μm 长3.5μm 厚的悬臂梁，95℃退火后，其弹性系数为0.525N·m-1；200℃退火后，其弹性系数增大到0.745N·m-1. 所制备的微悬臂梁被成功用于表征SU8与玻璃基底之间的相互作用.
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