高温MEMS剪应力传感器残余应力分析

采用理论分析与数值模拟相结合的方法，研究了残余应力对静电反馈式MEMS高温剪应力传感器的结构设计的影响.研究表明在电极宽度和间距不变的情况下，增加电极数和减小电极长度可有效地减小由静电力引起的应力和变形；残余应力对结构应力和变形的影响远大于静电力.