单光束错位云纹干涉法测板的斜率和曲率

本文提出一种用高密度位相型闪耀光栅测取板的曲率和斜率的单光束错位云纹干涉法,由于这一方法具有高灵敏度。大量程和高反差的优点。可有效地用来求解板的弯曲问题。文中还给出了周边固定圆板和带缺口的方板两个应用实例。