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力学学报 2010
激光激励微型硅悬臂梁的振动特性研究DOI: 10.6052/0459-1879-2010-4-lxxb2009-005, PP. 758-764 Keywords: 摘要,本文用光学探测方法研究了半导体硅悬臂梁的振动问题,运用基于外差干涉原理的实验装置得到了悬,臂梁在激光激励下的振动响应（振动振幅和相位随调制激光频率的变化）,采用等离子波和热弹性波的数学,模型,对悬臂梁的振动进行了理论分析,可看到实验与理论模拟结果吻合很好,同时通过分析可得振动相位与调制激光频率的平方根之间有线性关系。,词,光学探测,硅悬臂梁,振动. Abstract: 本文用光学探测方法研究了半导体硅悬臂梁的振动问题；运用基于外差干涉原理的实验装置得到了悬臂梁在激光激励下的振动响应（振动振幅和相位随调制激光频率的变化）；采用等离子波和热弹性波的数学模型，对悬臂梁的振动进行了理论分析；可看到实验与理论模拟结果吻合很好，同时通过分析可得振动相位与调制激光频率的平方根之间有线性关系。关键词词光学探测,硅悬臂梁，振动.
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