外加磁场对熔融半导体CZ法拉晶过程中流动场影响的数值计算

DOI: 10.6052/0459-1879-1990-1-1995-913, PP. 74-78

Keywords: CZ法中熔体对流,磁场影响,数值模拟

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Abstract:

数值分析结果表明,外加磁场可以改变熔融半导体中的流型,几千高斯的磁场可以显著地减小熔体的流动,但对温度场影响不大。

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