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ISSN: 2333-9721
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科学通报  1993 

在Pt/SrTiO_3衬底上制备高c轴取向PbTiO_3薄膜

, PP. 1273-1273

Keywords: PbTiO_3薄膜,c轴取向,aol-gel方法,Pt/SrTiO_3,衬底

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Abstract:

铁电PbTiO_3薄膜是一种优良的热释电材料。特别是c轴取向的PbTiO_3薄膜,因为c轴就是极化轴,并且c轴取向的ε低(约为100),所以它的热释电系数大,介电常数小,热容量小,很有希望成为高性能指数,高灵敏度的红外传感器材料。国外用溅射法在MgO(100)单晶和外延的P_t膜上制备了高c轴取向的PbTi0_3薄膜,并报道了其优良的电学性质。新近发展起来的sol-gel方法与溅射法相比,制备铁电薄膜有组分易控制,设备简单,成

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