硅基SiNxOy薄膜的光致发光

为了实现硅基光电子集成,人们正在致力于探求合适的硅基发光材料.由于SiO2薄膜是硅集成电路中重要的掩蔽膜和介质膜,因此人们正在将它作为一种有前途的发光材料进行研究,并获得了一些有价值的结果众所周知,SiNxOy薄膜也是硅集成电路中重要的掩蔽膜和介质膜,由于它比SiO2薄膜具有更多的优点,并在超大规模集成电路中得到了越来越多的应用,所以研究SiNxOy薄膜是否可以成为一种合适的硅基发光材料也就显得十分有意义了.就我们所知,还没有文献报道SiNxOy薄膜光致发光(PL)特性的研究.