对甲酸蒸气具有质量传感特性的类金刚石薄膜

用含有胺基的正丁胺(CH3CH2CH2CH2NH2)作为碳源,用射频辉光放电方法制备出碳膜.Raman谱分析表明,该种碳膜具有类金刚石结构.红外光谱分析表明薄膜中存在着SP2和SP3结构的碳氢键.并表明薄膜中有完整的胺基团存在.正是胺基和氢原子的存在使得SP2和SP3键发生畸变从而引起其振动频率发生漂移.将这种碳膜沉积在石英晶体振荡器上制成气相质量传感器,测试表明这种含有胺基团的类金刚石膜对甲酸蒸汽具有好的质量响应特性,并且响应速度快,性能稳定,再现性好,对甲酸蒸气响应在6个月的观察时间内没有明显下降