基于Sb掩膜的只读式超分辨光盘

采用Sb掩膜层代替Al反射层,在激光波长为632.8nm和数值孔径为0.40的光盘动态测试装置上实现了直径为380nm的超分辨记录点的读出.得到了Sb薄膜厚度对只读式超分辨光盘的读出信号强度的影响规律.同时发现Sb为28~30nm时超分辨记录点的读出信号强度最高达38~40dB.