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, PP. 26-28
Keywords: 压阻效应,碳纳米管,压阻因子,传感器件
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对碳纳米管(CNT)膜的压阻效应进行了研究.实验所用的碳纳米管用热灯丝气相沉积法(CVD)合成,压阻效应用3点弯曲法测量.研究发现在室温下与500微应变时,碳纳米管膜的压阻因子至少是65,超过多晶硅(Si)在35℃时的压阻因子30.并且,碳纳米管膜的压阻因子随温度的升高而变大.还讨论了碳纳米管膜出现压阻效应的机制.
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