高电阻率碳化硅陶瓷高效电火花铣削技术研究

采用分组脉冲电源对电阻率为500？Ω·cm的碳化硅陶瓷进行电火花铣削加工,该方法能够提高加工的稳定性和脉冲利用率,较大地提高了材料去除率,最高材料去除率可达72.9mm3/min.对高频脉冲宽度、高频脉冲间隔、峰值电压、峰值电流、加工极性、电极转速以及低频脉冲频率等对碳化硅电火花加工工艺效果的影响进行了试验研究与理论分析,得到了相应的规律关系.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析、能谱分析(EDS)和硬度测试仪等对电火花铣削加工后碳化硅陶瓷工件表面的微观结构特性进行了测试与分析.结果表明采用钢电极电火花铣削加工后碳化硅陶瓷工件表面的晶粒平均尺寸小于加工前表面的晶粒平均尺寸,加工后表面含有少量的铁元素,其硬度高于加工前材料的硬度.