介质阻挡放电在微型化光谱和质谱分析中的研究进展

介质阻挡放电(DBD)是有绝缘介质插入放电空间的一种非平衡态气体放电,又称无声放电.其最显著的特点是能够在高气压(大气压)下产生低温等离子体,从而省去了真空装置.该技术目前已经被广泛地应用于臭氧合成、尾气处理、聚合物表面改性、薄膜生长、等离子体显示等诸多领域.近年来,人们开始关注介质阻挡放电技术在分析科学领域中的应用,并取得了一系列新进展.在介质阻挡放电技术中,当放电电极两端施加足够高的交流电压时,电极间的气体会被击穿而形成低温等离子体.由于介质阻挡放电所产生的高能电子在与周围气体分子的碰撞过程中,可产生大量的自由基或离子,这一特点决定了DBD在分析科学领域中的潜在应用.