基于化合物半导体材料高速光开关的研究

高速光开关及光开关阵列是全光交换的核心器件.首先给出全内反射型光波导光开关器件的理论分析模型,并基于GaAs材料中的载流子注入效应,采用GaAs-AlGaAs双异质结结构,研制了工作波长在1.55μm的X结全内反射型和马赫曾德干涉型两种结构的光开关.测试结果表明,开关的消光比均超过20dB,开关速度达到10ns量级.