Co/Sb多层膜非单色反射率的计算

Co/Sb多层膜在光子能量为528eV和掠入射为10.3°时有近62%理论反射率.推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法,分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响.结果表明Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性,如果入射光能量分辨率小,将导致测量反射率远小于理论反射率.只有在入射光能量分辨率达到1600以上,测量反射率才等于多层膜实际反射率.给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值,这与实验结果是吻合的.