埃级微小振动的光干涉测量及其应用

数埃至数百埃振幅的测量是人们关心的问题,因为声发射信号的振幅主要在这范围内。振动传感器在更高频率下(如高于50千赫)的校准也需测量这一范围内的振幅。本文介绍两种测量微小振幅的激光干涉法。一种方法是对原有的J1(一阶第一类贝塞尔函数)最大值法的改进。