用强磁性FePt薄膜制作高性能磁力显微镜探针

磁力显微镜能够在几十纳米以下程度分辨磁性薄膜表面附近的漏磁场分布,已经成为获取亚微米尺度微粒子内部磁畴结构信息的有力工具.目前普遍使用的磁力显微镜探针,其矫顽力一般在0.3~1kOe之间.受被测材料磁性的影响,这样的探针稳定性很差.用FePt合金制作的磁性探针,矫顽力可以达到~10kOe,但需要750℃以上的高温热处理.这容易使FePt颗粒长大,针尖变粗,降低分辨能力.如何在更低的温度条件下获得较大的矫顽力,是进一步提高磁性探针质量的关键.