用石墨作阴极的大面积电子枪及其在高平均功率准分子激光中的应用

准分子激光由于其光子能量高、波长短以及高的平均功率和峰值功率,在科学研究和工业制造中得到了迅速发展和应用。在科学研究方面包括了染料激光激励、光化学、多光子过程等,在工业应用方面有同位素分离、激光退火、化学蒸汽淀积、打记号、光化学打孔、光刻以及激