多层多元组份薄膜样品中X射线荧光强度计算公式

在电子束曝光、太阳能电池及一些功能薄膜器件等高技术工艺的研究中,经常遇到多层多元组份薄膜样品每层的厚度和成份测定问题,这是至今用任何方法无法解决的重要难题。作者试图用电子束X射线微区分析手段加之MonteCarlo模拟计算方法来解决它。多层薄膜间及同层薄膜内各元素X射线荧光校正计算是主要困难之一。为此,我们基于处理微颗粒定量荧光计算的理论导出了计算多层多元组份薄膜间、同层内及衬底对其上每一层薄膜激发