毫微秒脉冲离子束注入与微合金球的形成

一、引言强流毫微秒脉冲离子束注入金属样品过程中,由于离子混合、骤热急冷以及瞬态冲击压力波的作用,使金属表面的形貌、微观结构和物理化学性能发生很大的变化。在此之前,我们已经观察到脉冲离子束注入金属时微晶和非晶结构的形成。考虑到强脉冲离子束在气体密度