Au/a-Ge双层膜分形晶化的TEM原位研究

对Au/a-Ge双层膜的分形晶化行为在透射电子显微镜(TEM)中进行了原位观测.实验证据表明分形生长过程中,潜热起着十分重要的作用,分形枝权的延伸发展,是沿着富Ge区连续晶化的结果.Au,Ge原子的短程互扩散也同时存在,但Au晶粒的聚集,抑制了a-Ge向分形区中的p-Ge团簇的扩散.TEM原位观测的实验事实,可以用随机逐次成核(RSN)模型予以阐明,但不排除扩散对分形形成的影响,两种机制同时作用于薄膜中的分形晶化,可能是分形形成的本质特征