在超微金刚石涂层上化学气相沉积金刚石薄膜的研究

爆轰法合成的超微金刚石在化学气相沉积(chemicalvapordepositionCVD)金刚石薄膜的过程中可以起到类似“晶籽”的促进成核的作用,在直流电弧等离子体喷射(DCPlasmaJet)装置上进行的实验结果显示,在有UFD涂层的衬底上进行沉积可以使成核率提高2～3倍,薄膜的形貌也与正常工艺得到的薄膜有所不同.较高的衬底温度可能会使部分UFD发生氧化或无定形化.进一步的研究应着眼于改善UFD的性质和降低基底温度.