用EELS和UPS研究非晶碳价电子特性

一、引言氢化非晶碳(a-CH)是一种新型的薄膜材料,它不但具有类金刚石的结构和性质,而且能实现掺杂,呈现出较好的半导体特性,因此对这种材料的研究引起了人们极大的兴趣。但对这种材料的微观结构,特别是价电子键合特性和价带结构研究较少。我们运用电子能量损失谱EELS(Electronenergylossspectroscopy)和紫外光电子能谱UPS(ultravioletphotoelectronspectroscopy)等电子能谱测试手段,对a-CH的价电子特性作了分析研究,并得到了一些有意义的结果。