非真空高温太阳光谱选择性吸收涂层的研制

采用多弧离子镀以TiAl合金为靶材在抛光不锈钢和铜基底上制备出了TiAl/TiAlN/TiAlON/TiAlO涂层,并对涂层进行了抗高温氧化性实验.采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、四探针电阻仪、紫外-可见-近红外分光光度计和傅里叶红外光谱仪分别对样品的表面和断面形貌、晶体结构、相组成、光学和电学性能进行了分析.结果表明,涂层耐800℃高温氧化,涂层的厚度为2mm,晶粒大小分布均匀,在可见-近红外光区(0.3~2.5μm)的反射率小于10%,方块电阻小于0.5W薄膜的红外反射率(2.5~25μm)为0.09~0.19,说明研制出的涂层具有很好的光谱选择性吸收,在太阳能热发电、建筑节能等领域中有很好的应用前景