模具钢喷淋微细蚀刻的侧蚀研究

对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻，观测表面微观结构，分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响。实验表明，随着掩膜间隙尺寸的增大，侧蚀量增大，这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用，造成了不同部位蚀刻速率不同，发生侧蚀；喷淋压力增大也导致侧蚀量增加，因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大，侧向蚀除作用强，同时蚀刻液更新频率快，反应速率提高，侧蚀增大。在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸，控制加工时间和喷淋压力，可以较好地控制侧蚀，保证较高的加工尺寸精度。