高频热等离子体热解水氯镁石沉积氧化镁薄膜

我国盐湖资源丰富，其中位于青海的察尔汗盐湖是我国最大的钾肥生产基地。然而在钾肥生产过程中副产的大量水氯镁石（MgCl2·6H2O）目前尚得不到有效的利用，“镁害”已经成为盐湖卤水提钾后的首要问题。本文提出以高频热等离子体为高温热源，强化水氯镁石的热解过程，同时将热解产物沉积得到高附加值的MgO薄膜。研究结果表明，该工艺热解效率高，热解得到高纯的MgO薄膜，沉积效率可达到3.2mm·min-1，薄膜颗粒粒径处于10～60nm之间，具有良好的光致发光性能；同时沉积工艺过程简单，适合大规模连续化生产。