有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器

采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器（IDC）上形成有机硅酸酯的气敏涂层.在室温和0.1kHz、1kHz、10kHz频率下测定了该电容器的电容，实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫(SO2)浓度的变化呈线性关系，亦与测量时使用的频率和气敏涂层的厚度密切相关.在本实验条件下，经有机改性的N,N-二乙基氨丙基三甲氧基硅烷比同类的硅酸酯对SO2有更高的灵敏度.