有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅱ)——热壁反应器模型及反应器中流动及传递过程的分析

分析了热壁化学气相淀积反应器在流型、温度和浓度分布以及淀积速率等方面与冷壁反应器的异同,探讨了流动特性、传递过程和反应器几何尺寸对淀积过程的影响,为淀积不同薄膜时反应器的选型及设计提供了方法和依据.