有限元方法求解化学气相淀积反应器模型(Ⅰ)——冷壁反应器模型及有限元解

建立了冷壁化学气相淀积反应器的数学模型,用Galerkin有限元方法对模型予以求解.计算中考虑了温度对物性参数的影响及自然对流因素,计算值和实验结果基本上一致.