扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子注入黄豆种子的深度

利用200kV离子注入机产生的Fe~+、Cu~+和Zn~+3种重离子分别对黄豆种子进行直流注入,以扫描电镜X射线能谱分析法测定低能重离子的注入深度。测量定结果表明,Fe~+的最大注入深度未超过18μm,Cu~+、Zn~+的最大注入深度可达25μm。