静电驱动柔性振膜型微泵的动力学分析

介绍了新颖的双腔结构静电柔性振膜型微泵及其工作原理。运用最小能量思想和挠度试解方法，建立了双腔静电振膜型微泵的理论分析模型。计算并讨论了驱动电压、振膜厚度、介电层厚度对微泵压缩性能的影响。计算结果表明双腔结构微泵相比单腔结构微泵，性能上有显著提高。理论模型和计算分析结果为静电柔性振膜型微泵的设计和制造提供了依据。