气相生长金刚石膜对衬底金刚石性能的影响
DOI: 10.11858/gywlxb.1990.01.006, PP. 36-41
Keywords: 热解CVD法,金刚石,衬底
Abstract:
本文以高压合成金刚石为衬底材料，用热解CVD法在衬底金刚石表面生长了金刚石晶体。结果表明，生长金刚石后的衬底金刚石热性能有明显改善。
| [1] | Spitsyn B V, Builov L L, Derjaguin B V. J Crystal Growth, 1981, 52: 219.
|
| [2] | Mutsukazu Kamo, Hisayoshi Yurimoto, Yoichiro Sato. Appl Surf Sci, 1988.
|
| [3] | 芶清泉. 完整硼皮金刚石的物理模型与特性. 待发表.
|
Full-Text
