微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜形貌分析
DOI: 10.11858/gywlxb.1991.03.007, PP. 197-204
Keywords: 金刚石薄膜,微波化学气相沉积,形貌
Abstract:
本文给出了微波等离子体化学气相沉积多晶金刚石薄膜及外延单晶金刚石薄膜的各种形貌，并对这些形貌的形成作了理论分析。
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