微梳齿驱动性能的耦合仿真研究

建立了考虑耦合作用的微梳齿驱动器仿真模型，研究了结构变化对梳齿的驱动性能的影响，并分析了结构基板及斜齿误差和偏移误差对结构驱动效果的影响。结果表明：基板造成的悬浮减小了驱动效果，驱动性能由于斜齿误差的存在而降低，偏移误差造成结构的横向不稳定。